GLOBAL STANDARD TECHNOLOGY - Good to Great
혁신으로 앞서가는 기업가격과 기술에 경쟁력이 있는 기업
GST Scrubber는 반도체와 FPD(Flat Panel Display) 공정 장비에서 사용된 후 배출되는 유해한 가스들을 정화하는 장비로 공정별 처리 가스에 따라 Burn Wet Type, Thermal Wet Type, Plasma Wet Type, Wet Type, Dry Type Scrubber가 있습니다.
Chiller는 반도체/FPD 공정 중 발생하는 열을 흡수하여 공정 장비의 내부, Wafer, Glass 등의 온도를 일정하게 유지함으로써 반도체/FPD 공정 효율을 개선하는 장비로 Peltier 소자를 이용하는 전기식 Chiller, 냉동기를 이용하는 냉동식 Chiller 및 저온의 Water를 이용하는 열교환기식 Chiller가 있습니다.
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